矽磊晶
嘉晶提供100~200mm的磊晶矽晶圓產品。 由基板到磊晶層的規格可依據客戶的元件特性進行設計與生產,依據不同的特性與需求,選擇設計適合的生產方式與製程條件。
依據磊晶設備的種類,大致可區分Batch Type與Single Type兩種。
Epi Reactor | Wafer Diameter | Epi Thickness | Epi Resistivity |
---|---|---|---|
Single Wafer | 125 – 200 mm | 0.5 – 150 μm | 0.01 – 1000 Ω.cm |
Batch Type | 100 – 150 mm | 0.5 – 150 μm | 0.01 – 200 Ω.cm |
Process Flow